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仪器设备

部分微纳制造/测试设备

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1、深紫外连续固体激光器
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2、Nanoscribe飞秒激光三维光刻系统
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3、原子力显微镜
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4、离子束溅射沉积薄膜系统

5、保偏光纤熔接机


6、箱式真空镀膜机

7、离子束刻蚀机

 

 

 

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